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驅動器技術參(can)數(shu)：

測量長度(du)：up to 140 mm

定位速度：0.02 - 200 mm/s (in X)

測量速度：up to 10 mm/s

導軌直線度：0.35 µm / 60 mm，0.4 µm / 140 mm

驅動(dong)器旋(xuan)轉角(jiao)度：±45°

輪廓測量技術參(can)數：

測桿長度：210 mm-option; 350 mm; 490 mm-option，測桿帶(dai)有芯片(pian)可被(bei)軟件自(zi)動識別

輪廓分辨率：max. 6 nm (with 210 mm probe arm)

測(ce)量精度：±(1.0 + 1.25 l/100) µm; l in mm

最大測量范圍：70 mm (in Z with 350 mm probe arm) max. 100 mm (with 490 mm probe arm-option)

測力：4mN-30mN軟件可調(diao)

粗糙(cao)度(du)測量技術參(can)數：

測(ce)桿長度：45 mm; 90 mm-option; 135 mm-option

粗糙度分辨率：max. 0.2 nm

測量精度：±2%

最大測量(liang)范圍：500 µm (±250 µm) for 45 mm probe arm length

1500 µm (±750 µm) for 135 mm probe arm length-option

測力：0.7mN

立柱(zhu)及微調(diao)工作臺技術參數：

立柱高度(du)：350 mm

立柱(zhu)定位(wei)方式：CNC全自動定位(wei)，可(ke)程序控(kong)制定位

立柱定(ding)位速度：up to 50mm/s

微調工(gong)作臺尺寸：390mm x 430mm

工作臺微調范(fan)圍：50mm

微調工(gong)作臺承重(zhong)：90Kg