Talyrond 595H系列(lie) 高精(jing)度測量儀

Talyrond 595H的(de)所有(you)軸(zhou)都經過精密加(jia)(jia)工(gong)，加(jia)(jia)強了軟(ruan)件(jian)自動更(geng)正功能，讓TR595H擁有(you)了*的(de)直線(xian)度(du)(du)和(he)(he)圓度(du)(du)精確度(du)(du)。調心和(he)(he)調平(ping)操作臺(tai)配有(you)高分辨(bian)率電(dian)機，進一(yi)步加(jia)(jia)強了精度(du)(du)和(he)(he)全自動設置(zhi)目標(biao)功能。

該系統配有的Talymin 5傳感器(qi)測量(liang)能力能夠(gou)達(da)到(dao)納米級別，同時自動橫臂機制能夠(gou)提供無以(yi)倫比的多功(gong)能化確(que)保能夠(gou)測量(liang)難以(yi)達(da)到(dao)的部分(fen)。TR595H配置的主動抗(kang)振控制托(tuo)架確(que)保了不受外界環(huan)境影響的測量(liang)環(huan)境，保證測量(liang)環(huan)境接近(jin)生產過程。

• 全自動軸臂橫向和縱向機制
• 軸臂、立柱和主軸校準自動校準
• 自動傳感器校準
• 高精度空氣軸承主軸精度+/- 0.01 um
• 傳感器分辨率0.3 nm
• 主動隔震和環境隔離系統