激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)品牌，激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)報價(jia)，激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)原(yuan)理，激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)運用，激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)試測，激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)廠家(jia)，激(ji)光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉儀(yi)具有測(ce)量精度(du)(du)高、測(ce)量范圍大、測(ce)量速度(du)(du)快(kuai)、高測(ce)速下分辨率高等(deng)優點，結合(he)不同的(de)光(guang)學鏡組(zu)，可實現線(xian)性測(ce)長、角度(du)(du)、直線(xian)度(du)(du)、垂直度(du)(du)、平(ping)(ping)行(xing)度(du)(du)、平(ping)(ping)面(mian)度(du)(du)等(deng)幾何參(can)量的(de)高精度(du)(du)測(ce)量。

激光干(gan)涉儀系統具(ju)有(you)豐(feng)富的(de)模塊(kuai)化(hua)組件，可根據具(ju)體測量需求而選擇(ze)不同的(de)組件。主要鏡組如下圖所列(lie)，依(yi)次為線(xian)性鏡組、角度鏡組、直線(xian)度鏡組、垂直度鏡組、平(ping)面度鏡組、自動精密轉(zhuan)臺。其中，線性鏡(jing)組為標配，由線性(xing)干涉鏡(jing)、線性(xing)反射(she)鏡(jing)和(he)夾緊(jin)孔座構成(cheng)。可滿(man)足(zu)線性(xing)位(wei)移設備(bei)的定位(wei)精度、重復定位(wei)精度、反向(xiang)(xiang)間隙(xi)(xi)的測量(liang)與分(fen)析，以及反向(xiang)(xiang)間隙(xi)(xi)修正和(he)螺距補償。