東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差
東京精(jing)密E-TS-1070B 精(jing)度演(yan)算誤差方式介紹(shao)
1.在(zai)G1?G2接觸子間放入微(wei)動臺。
2.先移動(dong)G1接觸子、控制(zhi)部指示値為行(xing)程(cheng)量的(de)一半時,(-210~-220μm)固定接觸子。
3.然后移動G2接觸子、控制部指示値(zhi)為0μm時固(gu)定(ding)接(jie)觸子。
4.微動臺朝返回方向返(fan)回100μm(-100μm)、確認(ren)控制部 指示(shi)値。
5.微動臺至進給原位置(zhi)(零位置(zhi))、確認控制(zhi)部 指示(shi)値(zhi)為0μm〔注1〕。
6.微動臺在進給方向進(jin)給100μm(+100μm)、確認控制部指示値。
7.微動臺回到(dao)原位(wei)置(zhi)(零位(wei)置(zhi))、確認(ren)控制(zhi)部(bu)指示値為0μm〔注1〕。
8.0μm→-100μm的指示値與0μm→+100μm的指示値不超過1.5μm。
9.0μm→-100μm的(de)指示値與0μm→+100μm的指示値的差超過1.5μm時需再調整、重復[1.]~[8.]的作(zuo)業。不超過時進行接下來的檢查。
〔注1〕 微動臺在原位(wei)(wei)置(零位(wei)(wei)置)時、控(kong)制部指示(shi)値不為0μm時、需調整接(jie)觸子重復〔4.〕~〔6.〕的作業。
※ 為(wei)減少演算(suan)誤差(cha)需進行絞合線單體感度測(ce)量(別紙)。