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東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差

點擊次數:434  更新時間:2023-04-28

東京精(jing)密E-TS-1070B 精(jing)度演(yan)算誤差方式介紹(shao)

1.在(zai)G1?G2接觸子間放入微(wei)動臺。

2.先移動(dong)G1接觸子、控制(zhi)部指示値為行(xing)程(cheng)的(de)一時,(-210~-220μm)固定接觸子。

.然后移動G2接觸子、控制部指示値(zhi)μ時固(gu)定(ding)接(jie)觸子。

4.微動臺朝返回方向返(fan)回100μ(100μ)確認(ren)控制部 指示(shi)値。

5.微動臺至進給原位置(zhi)(零位置(zhi))、確認控制(zhi)部 指示(shi)値(zhi)0μm〔注1〕。

6.微動臺在進給方向進(jin)給100μm(100μm)確認控制部指示値。

 7.微動臺回到(dao)原位(wei)置(zhi)(零位(wei)置(zhi))、確認(ren)控制(zhi)部(bu)指示値0μm〔注1〕。

8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超過1.5μm

 9.0μm→-100μm的(de)指示値0μm→+100μm指示値的差超過1.5μm時需再調整重復[1.][8.]的作(zuo)業不超過時進行接下來的檢查

〔注1〕 微動臺在原位(wei)(wei)置(零位(wei)(wei)置)控(kong)制部指示(shi)値不為0μm需調整接(jie)觸子重復〔4.〕~〔6.〕的作業

 ※ 為(wei)減少演算(suan)誤差(cha)需進行絞合線單體感度測(ce)量(別紙)。


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